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PDF/月刊誌論文/code:pg_0112_09マテリアル インテグレーション 2001年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0112_09 マテリアル インテグレーション 2001年12月号
ELECTRONIC CERAMICS ナノ機能性材料
ダイヤモンドナノ加工技術
■著者
早稲田大学 理工学部総合研究センター・客員講師 科学技術振興事業団CREST 研究員 立木 実、早稲田大学 理工学部電子・情報通信学科 中澤 一志、早稲田大学 理工学部電子・情報通信学科・教授 FCT-JFCC 科学技術振興事業団CREST 川原田 洋
■要約
ダイヤモンドのナノ加工技術としてはダイヤモンドをバルク的に加工するエッチング加工と,ダイヤモンド表面の原子終端構造を微細制御することによる表面改質加工が応用上重要である.本稿では,反応性イオンエッチング(RIE,ReactiveIon Etching)を用いたダイヤモンドの微細加工および原子間力顕微鏡を用いたダイヤモンド表面のナノ改質加工について述べる.
