- 商品コード：
-
code:pg_0205_01
PDF/月刊誌論文/code:pg_0205_01マテリアル インテグレーション 2002年5月号
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
MATERIALS INTEGRATION 機能に富んだ材料シリコン
ポーラスシリコン
■著者
スタンレー電気 研究開発センター 松本貴裕
■要約
従来,微粒子の粒径評価手法として,透過電子顕微鏡観察ならびに光学的Raman 分光法等が用いられてきたが,これらの手法は,(1)2nmよりも小さなサイズを正確に評価できない,(2)正確で確立された粒径評価方法ではない,等の問題点を有する.今回,我々は,ナノ結晶シリコンの粒径分布を,現在の粒径評価手法の中でもっとも精度が高い,X線小角散乱法によって求めることを行った.この結果,p型数cmの比抵抗を有するシリコン基板を用いてポーラスシリコンを作製した場合,所謂ポーラス構造とはならず,およそ2nmの直径を有するシリコンナノ結晶の集合体となり,透過電子顕微鏡観察ならびに光学的Raman測定法によって報告されていた値(3nm)よりも小さなナノ結晶の粒径分布を有することが判明した
