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PDF/月刊誌論文/code:pg_0205_02マテリアル インテグレーション 2002年5月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
MATERIALS INTEGRATION 機能に富んだ材料シリコン
鉄シリサイド光デバイスの最前線
■著者
筑波大学 物理工学系 末益崇 他
■要約
β-FeSi2 は,Si基板上にエピタキシャル成長が可能であること,光通信で使われる1.5μm帯で発光すること,吸収係数及びゼーベック係数が大きいこと等,従来のSiや化合物半導体には無い特徴を持っている.このため,β-FeSi2 はSiICの光インターコネクション用の光源用半導体としてだけでなく,環境低負荷型の太陽電池や熱電変換素子材料としても期待される半導体である.
