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PDF/月刊誌論文/code:pg_0207_11 マテリアル インテグレーション 2002年7月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
INTER MATERIAL 材料・生体・情報の融合を目指して(1)
ナノ・スケールで見るSi微細デバイス
■著者
大阪大学産業科学研究所 半導体量子科学分野 長谷川 繁彦 他
■要約
キャリア・プロファイル,ポテンシャル・プロファイルなど,半導体の電気的性質をナノスケール領域で評価する手法の候補として,走査型トンネル顕微鏡法/走査型トンネル分光法,走査型容量顕微鏡法,選択エッチング法,走査型拡がり抵抗顕微鏡法,ケルビンプローブ力顕微鏡法,電子線ホログラフィー法などがあげられる.我々は,STM/STS法を主に用いている.それは空間分解能が高いことによっている.最初に,STM/STS 法によってデバイス構造を調べる方法について述べ,その後,微細pn接合および0.1μmのMOSFETの観察結果について述べる.
