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PDF/月刊誌論文/code:pg_0207_12 マテリアル インテグレーション 2002年7月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
INTER MATERIAL 材料・生体・情報の融合を目指して(1)
シリコン表面におけるステップダイナミクスの研究
■著者
大阪大学産業科学研究所 量子分子デバイス 須藤 孝一 他
■要約
筆者らはこれまで走査トンネル顕微鏡(STM)を用いてSi表面におけるステップの振る舞いを調べ,ステップの運動モデルの構築を試みてきた.本稿では,特にSi(113)表面におけるファセッティング過程でのステップのダイナミクスを取り上げ,STM観察により明らかになったファセッティング過程での表面形態変化のしくみと連続体ステップモデルによるシミュレーションについて述べる.
