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PDF/月刊誌論文/code:pg_0207_14 マテリアル インテグレーション 2002年7月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
INTER MATERIAL 材料・生体・情報の融合を目指して(1)
原子間力顕微鏡を用いたシリコン表面の局所陽極酸化
■著者
大阪大学産業科学研究所 量子分子デバイス 吉信 達夫 他
■要約
走査トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡をはじめとする走査プローブ顕微鏡は,原子レベルの空間分解能で試料表面を観察する手段として普及しているが,一方で走査プローブ顕微鏡を試料表面の加工に利用する試みも盛んに行われている.STMによる堆積,エッチング,酸化,AFMによるスクラッチ,酸化などがその例である.これらの方法と試料表面の観察とを組み合わせることにより,狙った位置に正確にナノメートルスケールの微細構造を作製できることから,単電子トランジスタ等のデバイス作製に威力を発揮するものと期待されている.本稿ではAFM探針を用いたシリコン表面の局所陽極酸化について紹介する.
