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PDF/月刊誌論文/code:pg_0210_08マテリアル インテグレーション 2002年10月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0210_08 マテリアル インテグレーション 2002年10月号
INTER MATERIAL 材料・生体・情報の融合を目指して(3)
ナノ量子ビームによるナノ微細構造の創出と探索
■著者
大阪大学産業科学研究所 産業科学ナノテクノロジーセンター ナノ量子ビーム研究部門 助手 古澤 孝弘 他
■要約
大阪大学産業科学研究所附属産業科学ナノテクノロジーセンターでは,2台の電子線加速器を有し,物質と量子ビームの相互作用の観点から装置の開発から材料の物性や反応機構等の応用に至る研究が行われてきた.特に,世界最高時間分解能を有するサブピコ秒パルスラジオリシスや世界最高水準の強度を誇る陽電子発生装置は,ナノサイエンス・テクノロジーにおける反応解析やナノ空隙の問題解決の強力なナノ量子ビームツールとなる.そこで,ここでは,ナノファブリケーション用レジストを開発するための有力なツールであるナノ空間反応解析およびナノ空隙解析の手法と実験結果を紹介する.
