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PDF/月刊誌論文/code:pg_0211_12マテリアル インテグレーション 2002年11月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0211_12 マテリアル インテグレーション 2002年11月号
INTER MATERIAL E-Gamglion/電子神経節
マイクロ化学プラント
■著者
(財)マイクロマシンセンタ 矢田 恒二
■要約
ナノテクノロジが近年の技術的トレンドとして注目されている.しかしナノ領域が身近な技術として現れるためにはマイクロ領域からの接近が必要と考えられる.この接近方向はミリメータからマイクロメータに近づく方向が人類が積み上げてきた技術の方向とも一致して理解しやすい.そのための技術として一番近い位置にあるのがMEMSと呼ばれる半導体プロセスをベースとした技術である.この中でも化学分析や,化学合成に使えるMEMS技術はマイクロTASと呼ばれ,微小流体を取り扱う.このようなMEMS技術は単にデバイスを小型化することだけではなく,半導体を主体とした電子回路をデバイスのなかに一体として組み込めることが大きな特徴といえる.ここではマイクロ流体デバイスのキー要素であるバルブ,ポンプ等とマイクロ流体デバイスを用いた化学システムなどについて述べる.
