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PDF/月刊誌論文/code:pg_0212_03マテリアル インテグレーション 2002年12月号

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PDF/月刊誌論文/code:pg_0212_03 マテリアル インテグレーション 2002年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 高周波材料・高周波デバイス

ミリ波帯における低損失誘電体材料の評価法
■著者
埼玉大学 工学部 電気電子システム工学科 教授 小林 禧夫

■要約
現在,国際標準創成事業「通信器用ファインセラミックスの試験評価方法」の標準化技術委員会において,ミリ波帯における低損失誘電体の標準測定方法として,ファブリペロー共振器法,NRD ガイド励振誘電体円柱共振器法,遮断円筒導波管法が検討されている.ファブリペロー共振器法は,100GHz〜300GHz 帯で有効な測定法であるが,測定装置間の測定値のばらつきに関する検討が不十分である.NRD ガイド励振誘電体円柱共振器法は,30GHz〜100GHz 帯で有効な測定法である.誘電体円柱共振器法は,ミリ波帯で円柱共振器の寸法が小さくなるため,同軸線路による励振が困難となる.それを解決するためにNRD ガイドを用いている.遮断円筒導波管法は,30GHz〜100GHz 帯で有効な測定法であり,温度依存性測定を行うのに十分な高精度・高能率を実現している.さらに最近,ウィスパリングギャラリーモード共振器法による方法が報告されている.本報告では,遮断円筒導波管法の測定原理および温度依存性自動測定システムについて述べる.さらに,比誘電率εr =2〜24 程度の種々の誘電体平板料の測定結果およびGaAs 平板の温度依存性の測定結果について述べる.
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