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PDF/月刊誌論文/code:pg_0212_09マテリアル インテグレーション 2002年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0212_09 マテリアル インテグレーション 2002年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 高周波材料・高周波デバイス
高周波用LTCC材料技術
■著者
(株)富士通研究所 材料・環境技術研究所 マイクロエレクトロニクス材料研究部 主任研究員 今中 佳彦
■要約
低温同時焼成セラミックス(Low Temperature Cofired Ceramics,LTCC) は特性の異なる材料を組込むことが比較的容易であるために,各種機能部品の内蔵・集積化の実現が可能である.また,このLTCCは低損失金属を導体として組み込むことができるとともに,樹脂等の他材料に比べて,高周波での誘電体損失が小さいために,信号の低損失化に効果的である.ここでは,部品・基板の集積化・高周波化に有効なLTCCの材料技術について,その一般的背景も含めて解説する.
