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PDF/月刊誌論文/code:pg_0303_07 マテリアル インテグレーション 2003年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0303_07 マテリアル インテグレーション 2003年3月号
ELECTRONIC CERAMICS セラミックスインテグレーション
TEMを用いた新しい薄膜キャラクタリゼーション技術
■著者
(財)ファインセラミックスセンター 山本 和生 他
■要約
透過電子顕微鏡(TEM) を用いた構造解析では,結晶格子を原子レベルで観察でき,また局所組成や局所電子状態も分析できるようになった.このような方法により材料の解析では極限に近づいて来たが,材料の機能を観察することは困難である.電子線ホログラフィはTEM 装置中で局所電界分布および局所磁束分布を観察することができるので,材料の機能特性を直接知る手段として有望である.ここでは,電子線ホログラフィの原理および最近我々が行った磁気デバイスの観察について紹介する.
