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PDF/月刊誌論文/code:pg_0312_01マテリアル インテグレーション 2003年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0312_01 マテリアル インテグレーション 2003年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 積層圧電アクチュエータの最新応用(大学・研究所)
総論
■著者
NECトーキン(株) 圧電デバイス事業部 技術アドバイザー 加藤 好志
■要約
圧電セラミックスには,電圧を加えると伸び電圧を切ると元に戻る性質が備わっています.この「圧電性」を利用して「動き」を作り出すデバイスが,圧電アクチュエータです.圧電アクチュエータには,他のタイプのアクチュエータと比較して,優れた特徴が備わっています.0.01 ミリ秒という素早い応答性,0.01 ミクロンの超精密な動き,そして1 平方ミリあたり3 キログラムに達する強い力,これらは,他のタイプのアクチュエータに比べて何桁も優る特性です.この特性を生かし,圧電アクチュエータはすでに,半導体製造装置のバルブの精密開閉に広く用いられています.さらに近年,環境問題への取り組みや,より高度なIT 社会の実現に向けて,圧電アクチュエータでなければ実現できない,レベルの高いアプリケーションが次々と見いだされています.圧電アクチュエータの応用は,これからが本番です.
