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PDF/月刊誌論文/code:pg_0312_02マテリアル インテグレーション 2003年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0312_02 マテリアル インテグレーション 2003年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 積層圧電アクチュエータの最新応用(大学・研究所)
精密・微細加工とマイクロ工作機械
■著者
産業技術総合研究所 機械システム研究部門 ファインファクトリー研究グループ 岡崎 祐一
■要約
精密機械加工に要求される加工精度と微細化は,情報機器用光学素子や精密治具・金型などへの応用を中心に急激に上昇してきている.それにともなって加工機の高精度化も急速に進展し,「ナノ加工機」と称せられる,文字通りナノメートルないしそれ以下の制御分解能と,数十ナノメートルオーダの形状精度をもつ加工機が,超精密部品の製造ラインを支えている.加工機の精度向上には,さまざまな誤差要因を抑え込み,機構設計と運動制御を理想に近づけ,また環境を安定化することが基本である一方,なお残る運動誤差や変位を圧電アクチュエータなどを用いたローカルな変位デバイスによって補償する方法も有効である.加工対象の微細化に対応した加工機のもうひとつの変革は,加工機自身のマイクロ化である.微小な部品の加工に特化し,加工設備を,その加工対象に見合ったサイズまでマイクロ化することは,さまざまなメリットと新たな加工シーンの創出をもたらす可能性を生むものとして近年,急速に関心が高まっている.本稿では,圧電アクチュエータの精密・微細加工への応用事例として,精密切削加工機における高速変位デバイスである「高速工具サーボ」,およびマイクロファクトリのひとつのプロトタイプに採用された,「マイクロスライダ機構」とその応用である「マイクロ旋盤」について紹介する.
