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PDF/月刊誌論文/code:pg_0312_06マテリアル インテグレーション 2003年12月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0312_06 マテリアル インテグレーション 2003年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 積層圧電アクチュエータの最新応用(大学・研究所)
微細形状測定用マイクロプローブの開発
■著者
(独)産業技術総合研究所(AIST) 機械システム研究部門 ファインファクトリー研究グループ 小倉 一朗
■要約
近年の加工技術の発展に伴い,マイクロマシンをはじめとする微小な機械構造物を創成することが可能となった.ところがこのような部品の寸法に対する形状精度を考えると,従来の等身大の製品に比べ大きく劣っている.ミリメートルからサブミリメートルのサイズを有したマイクロパーツは高々数ミクロンオーダーであり,寸法の3 桁下程度の形状精度しか達成されていない.形状精度を保証するためには,これらのマイクロパーツの形状を精密に測定する必要がある.そのためには微細な形状をナノメートルオーダーで測定可能な小型3 次元座標測定装置が必要である.このような小型3 次元座標測定装置に関する研究はナノCMM という概念により提唱されており,特にそこに適用されるプローブについて,さまざまな研究が行われている.本研究ではこの流れを受け,われわれの研究グループが取り組んでいるマイクロファクトリーの計測評価システムとなる小型3 次元座標測定装置用マイクロプローブの開発を行っている.本報告はそのプローブ開発において積層圧電アクチュエータを適用した事例について紹介する.
