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PDF/月刊誌論文/code:pg_0402_04 マテリアル インテグレーション 2004年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0402_04 マテリアル インテグレーション 2004年2月号
INTER MATERIAL 酸化チタン光触媒とその応用
ドライプロセスによる高機能な酸化チタン薄膜光触媒の創製
■著者
大阪府立大学大学院工学研究科 物資系専攻応用化学分野 竹内 雅人 他
■要約
本稿では,ドライプロセスであるイオン工学的手法の中から,(1)クラスターイオンビーム法による薄膜酸化チタン光触媒の創製,(2) イオン注入法を駆使した酸化チタン光触媒の可視光化,(3) マグネトロンスパッタ成膜法による新規な可視光応答型酸化チタン薄膜光触媒の創製,およびNOx の分解やアルデヒドの分解反応に関するこれら新規な酸化チタン光触媒の反応性に関して解説する.
