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PDF/月刊誌論文/code:pg_0409_01 マテリアル インテグレーション 2004年9月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0409_01 マテリアル インテグレーション 2004年9月号
ELECTRONIC CERAMICS 最近のエレクトロデバイスの動向
最近のセンサ動向とセラミックス
■著者
早稲田大学理工学部 一ノ瀬 昇
■要約
センサを人間の五感との対比で分類すると,光,音,磁気,温度,圧力,ガス,湿度,味,などのセンサがある.これらの中で,光,音,磁気,温度,圧力などのセンサは“物理量”を検知するセンサである.これに対して,ガス,湿度,味を検知するセンサはいわば“化学量”を検知するセンサであり,われわれの嗅覚,味覚に対応している.現在のところ,これらの化学量センサは物理量センサに比較して種類も少なく,その性能も不十分なものが多いのが実態である.本特集で取り上げた最近話題になっているセンサも大方物理量センサである.さて,センサへの広範な分野からの要望を満たすためには,材料,デバイス,情報処理システムそれぞれの技術の進歩が不可欠である.とりわけ材料の重要性は,センサを開発する上で最初の遭遇する検討対象であり,また,これまでのセンサの進歩が常に材料の開発とともにあった事実からも明らかである.すなわち,材料の開発は新しい技術を生む重要なカギの1つであり,技術のブレークスルーになる可能性がある.一方,すべての材料はセンサ材料として利用できる可能性があり,それを反映して多種多様な材料が検討されているが,ここではセンサへの応用が期待されるセラミックス,単結晶材料からいくつかを紹介し,センサ材料,プロセスの将来展望について述べる.
