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PDF/月刊誌論文/code:pg_0409_02 マテリアル インテグレーション 2004年9月号

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PDF/月刊誌論文/code:pg_0409_02 マテリアル インテグレーション 2004年9月号
ELECTRONIC CERAMICS 最近のエレクトロデバイスの動向

表面実装型圧電振動ジャイロの技術
■著者
(株)村田製作所 回路モジュール商品事業部 センサモジュール商品部 阿部 英孝

■要約
物体の回転運動,すなわち角速度を検出するセンサーとして,ジャイロセンサーが一般的に知られている.ジャイロセンサーは,取り付ける位置と回転中心との距離の影響を受けることなく,すなわち搭載位置によらず角速度を知ることができる,応用範囲の広いセンサーである.ジャイロのうち,検出素子に振動体を用いている物を振動ジャイロ,さらにその中でも振動体が圧電体からなる物は,圧電振動ジャイロとよばれている.最近ではこの圧電振動ジャイロの小型化,表面実装化及び高精度化が進み,様々な分野でその応用範囲を広げている.ここでは,圧電振動ジャイロの基本原理と小型,高密度実装に向けた技術の流れを紹介する.
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