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PDF/月刊誌論文/code:pg_0501_02 マテリアル インテグレーション 2005年1月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0501_02 マテリアル インテグレーション 2005年1月号
INTER MATERIAL 酸化物ナノチューブの最近の進展
1次元ナノ構造の酸化物半導体
■著者
Hong Goo CHOI , Dept. of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST) ほか
■要約
1次元ナノ構造酸化物半導体は気相法と液相法により合成される.気相法の場合,原料物質を蒸発させて基板上に凝縮する方法がとられるため,化学組成と大きさの制御に相応しいが,高温反応が必要である,収率が低いといった短所がある.一方,液相法の場合には,ナノスケールのtemplate(カーボンナノチューブ, AAO (Anodic Aluminum Oxide))を利用したり,結晶学的異方性を利用して1次元ナノ構造酸化物を合成することが可能であり,dopingや大量生産が容易である点が特徴となっている.本解説では1次元ナノ構造酸化物であるWO3-xナノワイヤー, H--Ti--Oナノチューブ,SnO2ナノベルトの合成及び特性評価について紹介する.
