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PDF/月刊誌論文/code:pg_0502_02 マテリアル インテグレーション 2005年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0502_02 マテリアル インテグレーション 2005年2月号
INTER MATERIAL 異方性工学のすすめ(3)プロセスと異方性
酸化物ウイスカーによる発光デバイス
■著者
長岡技術科学大学 化学系 教授 斎藤 秀俊
■要約
セラミックス冷陰極には,ナノ先端からの電界放射現象を利用している.ナノ先端は大気開放型化学気相析出 (CVD) 法で合成されたZnOセラミックスウイスカーマトリックスの先端に形成される.セラミックスウイスカーの最先端にはアモルファス窒化炭素やMgOといった比較的電子を放出しやすい材料のナノ薄膜からなるトップコートが施されている.このセラミックス冷陰極は,先端の鋭い曲率とナノ薄膜の低い仕事関数との組み合わせを利用して,高真空中に電子を効率よく放射する.一方,蛍光ウイスカーではウイスカー結晶中に発光のもとになる賦活元素を適正な酸化物結晶位置に確実に添加する技術を利用して明るい輝度を確保している.本稿では赤色発光デバイスを構成するセラミックス冷陰極と蛍光ウイスカーの要素技術について,異方性工学をキーワードにそれぞれ解説する.
