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PDF/月刊誌論文/code:pg_0502_08 マテリアル インテグレーション 2005年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0502_08 マテリアル インテグレーション 2005年2月号
INTER MATERIAL 異方性工学のすすめ(3)プロセスと異方性
カーボンナノチューブの異方構造を利用した新規デバイスの設計
■著者
大阪大学 産業科学研究所 量子機能科学研究部門 教授 松本 和彦
■要約
単層のカーボンナノチューブは,直径が数ナノメートルで,長さが数マイクロメートルと,1000以上の高いアスペクト比の異方構造を有している.この高い異方性こそ,カーボンナノチューブをナノデバイスに利用する大きな原動力となっている.即ち直径方向のサイズが従来の微細加工技術では到達できないサイズであり非常に魅力的であるばかりでなく,長さ方向が従来の微細加工技術で到達できるサイズであるために容易に電極に形成でき,その電気的特性を評価することができる.さらに形状が微細であるという特長のみならず,一次元構造に基づいた特異な伝導特性を有しており,これらの特長を活かした様々なデバイスの研究が活発になっている.ここではカーボンナノチューブの異方構造に基づく特異な伝導の一つである1) 単一電子トランジスタ特性とバリスティック伝導特性,2) カーボンナノチューブ内のスピンのゼーマン分離,3) 電界効果トランジスタ及びピーポッドFET等について,最近の日本の研究の現状とともに述べる.
