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PDF/月刊誌論文/code:pg_0504_06 マテリアル インテグレーション 2005年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0504_06 マテリアル インテグレーション 2005年4月号
INTER MATERIAL いろいろつかえるソノケミカル(2)
超音波照射下無電解めっきによる近接場光学顕微鏡プローブの作製
■著者
科学技術技術振興機構 さきがけ 国武「組織化と機能」領域 物部 秀二 ほか
■要約
本稿では,近接場光学プローブの作製のため,開発を行っている超音波照射を用いたサイズ依存無電解めっきについて述べる.次節では,これにより作製される伝播光遮断型プローブとめっき法について述べ,第3節でメガヘルツPZT振動子とランジュバン型振動子を用いた結果について議論し,第4節でまとめる.
