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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_01 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_01 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
ELECTRONIC CERAMICS エアロゾルデポジション法
エアロゾルデポジション法による常温衝撃固化現象と集積化技術への展開
■著者
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グループ グループ長 明渡 純
■要約
本報告では,経済産業省が平成14年度より国家プロジェクトとして研究開発を進めているエアロゾルデポジション法を中心に,溶射技術とは異なる固体粒子を用いた新しい噴射コーティング手法の原理や特徴,さらにその応用展開への取り組みを解説する.
