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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_02 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_02 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
ELECTRONIC CERAMICS エアロゾルデポジション法
エアロゾルデポジション法により作製した圧電薄膜の光スキャナ応用
■著者
ブラザー工業株式会社 NID開発部 浅井 伸明
■要約
マイクロアクチュエータ技術と光技術とを組み合わせ,光をアクティブに制御する光MEMSへの応用が実用化されている.光MEMSデバイスのひとつである共振型の光スキャナは,小型・低消費電力という特徴があることから,光をスキャニングする次世代表示デバイスのキーコンポーネントとして期待されている.表示デバイスとして応用するためには,高速走査,大走査角,適切なサイズのミラー,低いミラー撓み等,クリアすべき課題が多く,数μ程度の薄肉構造のミラーではなく,厚肉構造をとることが望ましい.その場合,駆動力が課題となるが,圧電方式は,駆動力の点で有利と考えられている.我々は,エアロゾルデポジション法(以下,AD法)の高速成膜性・局所成膜性に着目し,厚肉のスキャナ構造に圧電アクチュエータを作製し,高速かつ大走査角の光スキャナを試作した.本報告では,その加工プロセスおよび動作特性について報告する.
