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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_04 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_04 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
ELECTRONIC CERAMICS エアロゾルデポジション法
エアロゾルデポジション法で成膜したリラクサ強誘電体厚膜の特性
■著者
NECトーキン株式会社 研究開発本部 材料開発センター 川上 祥広
■要約
AD法を用いてPNN-PZT膜の成膜方法の検討を行い,SUSあるいはセラミック基板上へのペロブスカイト単相の厚膜形成が可能となったので,得られたPNN-PZT膜の圧電特性ならびに膜の微細構造について報告する.
