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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_07 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_07 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
ELECTRONIC CERAMICS エアロゾルデポジション法
エアロゾルデポジション法を用いたイメージングセンサとその応用
■著者
東陶機器(株) 総合研究所 材料技術部セラミック研究グループ 清原 正勝 他
■要約
本報告では,弊社で考案したマイクロ波を用い人体の動きを検知できるイメージングセンサについて紹介し,このセンサ作製におけるエアロゾルデポジション法(AD法)の適合性について報告する.
