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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_08 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_08 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
ELECTRONIC CERAMICS エアロゾルデポジション法
エアロゾルデポジション法による磁性膜の形成と応用
■著者
東北大学 大学院工学研究科 知能デバイス材料学専攻 助教授 杉本 諭 他
■要約
極めて高い堆積速度が得られるエアロゾル・デポジション (AD) 法は,高速で厚膜の作製が可能であることから,電磁ノイズ抑制体,厚膜磁石の作製方法として期待される.そこで我々は,AD法よるNiZn系フェライト厚膜,Sm-Fe-N系厚膜の作製を試み,電磁ノイズ抑制体,厚膜磁石への応用について検討した.なお本報告は「粉体および粉末冶金」「日本応用磁気学会誌」に掲載された論文・解説原稿を元に,作成されたものである.
