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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_09 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0505_09 マテリアル インテグレーション 2005年5月号
ELECTRONIC CERAMICS エアロゾルデポジション法
エアロゾルデポジション法による透明電気光学薄膜
■著者
NEC基礎・環境研究所 主任研究員 助教授 中田 正文
■要約
我々は,AD法による薄膜形成を中心技術とする経済産業省ナノテクノロジープログラム「ナノレベル電子セラミックス材料低温成形・集積化技術」プロジェクトに2002年度より参画し,ナノフォトニックデバイス用の透明セラミックスとして電気光学薄膜形成方法の開発に着手している.本報告では,2章で電気光学材料,3章でAD法の光デバイス適用の利点を解説する.4章では,AD法で形成したPLZT薄膜の透過率が,光学素子に適用可能なレベルであること,5章では,薄膜としてトップレベルの電気光学効果を有することを明らかとしたので報告する.
