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PDF/月刊誌論文/code:pg_0606_07 マテリアル インテグレーション 2006年6月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0606_07 マテリアル インテグレーション 2006年6月号
ELECTRONIC CERAMICS 光とセラミックス
透明酸化物半導体:最近の進歩から
■著者
東京工業大学 フロンティア創造共同研究センター 細野 秀雄
■要約
本研究グループは,これまで電子機能性発現の舞台とみなされていなかった透明な酸化物を,ナノ構造を活用し,透明な半導体など電子が主役となる機能を探索する研究を「透明電子活性」という主題という下で行なっている.1997年に透明P型酸化物を見出し,2000年には当初の目標の一つであった全透明酸化物半導体のPN接合を用いた紫外発光ダイオードを実現した.1999年10月から2004年9月までの5年間に亘り実施されたJST-ERATO「透明電子活性プロジェクト」の研究成果は,総説としてまとめられている.本稿では,それ以後の進歩について本グループの成果を中心に紹介する.
