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PDF/月刊誌論文/code:pg_0606_08 マテリアル インテグレーション 2006年6月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0606_08 マテリアル インテグレーション 2006年6月号
ELECTRONIC CERAMICS 光とセラミックス
感光性ガラス
■著者
早稲田大学理工学総合研究センター客員研究員 森實 敏倫
■要約
アルミセラミックス等では,不可能とされた最小25$\mu$までの無数の孔や溝をエッチング加工により可能としたガラス・セラミックであり,アルミナセラミックス分野を駆逐する材料である・・・
