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PDF/月刊誌論文/code:pg_0608_06 マテリアル インテグレーション 2006年8月号

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PDF/月刊誌論文/code:pg_0608_06 マテリアル インテグレーション 2006年8月号
MATERIALS INTEGRATION 触媒および光触媒材料の分子レベルでの理解2

RFマグネトロンスパッタ法による可視光応答型酸化チタン薄膜光触媒の創製
■著者
大阪府立大学 産学官連携機構 北野 政明 他

■要約
本研究では,イオン工学的成膜法の一つであるRFマグネトロンスパッタ法を用いて成膜条件の最適化を図ることで可視光領域の光を吸収し高効率に稼働する薄膜状の酸化チタンの開発を試みた.さらに,RFマグネトロンスパッタ法により創製した可視光応答型酸化チタン薄膜光触媒の可視光応答性発現機構およびその光触媒反応性に関して解説する.
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