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PDF/月刊誌論文/code:pg_0609_01 マテリアル インテグレーション 2006年9月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0609_01 マテリアル インテグレーション 2006年9月号
ELECTRONIC CERAMICS エレクトロニクセラミックス薄膜
c軸配向ビスマス層状化合物膜の誘電特性
■著者
東京工業大学物質科学創造専攻 兼 PRESTO, JST 舟窪 浩 他
■要約
本稿では,種々のc軸配向したBLD薄膜についての研究からBLDでの比誘電率と誘電率の温度係数の設計指針を明らかにする.さらに実用上重要な誘電特性の製膜方法依存性についても報告する.
