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PDF/月刊誌論文/code:pg_0609_03 マテリアル インテグレーション 2006年9月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0609_03 マテリアル インテグレーション 2006年9月号
ELECTRONIC CERAMICS エレクトロニクセラミックス薄膜
強誘電体ゲートトランジスタ用薄膜
■著者
大阪府立大学大学院 工学研究科 藤村 紀文
■要約
本稿では,トランジスタ型FeRAMの現状を概観し,動作原理と物質設計に関して,我々が現在行っている取り組みを中心に述べる.
