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PDF/月刊誌論文/code:pg_0701_05 マテリアル インテグレーション 2007年1月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0701_05 マテリアル インテグレーション 2007年1月号
MATERIALS INTEGRATION ガラス・フォトニクス材料の最近の動向
ゾル--ゲル法によって作製されるセラミックコーティング膜の亀裂と面内応力について
■著者
関西大学 工学部 先端マテリアル工学科 幸塚 広光
■要約
本稿では,ゲル膜の焼成過程での応力発生の概略と応力のその場測定について説明し,プロセス上のパラメータが応力発生や亀裂発生にどのような影響を及ぼすかについての検証結果を紹介する.