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PDF/月刊誌論文/code:pg_0702_07 マテリアル インテグレーション 2007年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0702_07 マテリアル インテグレーション 2007年2月号
INTER MATERIAL NIMSナノセラミックスセンター
陽極酸化技術の高度化によるナノ細孔の創製とその応用
■著者
物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター 井上 悟
■要約
配列したナノメーターサイズの細孔を含有するセラミックスに陽極酸化アルミナがある.陽極酸化技術は,アルミニウムの化学的耐久性の改善やアルミサッシのカラー化などの技術として開発され,工業的量産技術として確立されている.しかしながら,ナノ細孔構造作製技術としては未開拓の部分が多い.陽極酸化アルミナは,中心軸に沿って細孔が空いた六角柱状のセルが集積して出来ている.今までに報告されている形成セル中央の1次細孔のサイズは10nmから100nmであり,数十年前に開発された技術とは言え,既に,ナノ組織制御技術であったことがわかる. 高度化陽極酸化技術は,ガラス表面に形成したアルミニウム金属薄膜を高精度制御のもと陽極酸化することによりガラス表面にナノサイズの細孔配向組織薄膜を形成する技術,また,形成されたナノスケール細孔に化合物を導入して機能を付加する技術から成り,様々な機能材料開発に応用可能なガラス表面上規則配列ナノ細孔薄膜形成技術である.
