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PDF/月刊誌論文/code:pg_0702_14 マテリアル インテグレーション 2007年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0702_14 マテリアル インテグレーション 2007年2月号
INTER MATERIAL NIMSナノセラミックスセンター
低圧誘導結合プラズマCVDによるナノクリスタルダイヤモンド合成
■著者
物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター 岡田 勝行
■要約
プラズマCVDによるダイヤモンド合成に用いられるプラズマは,現在10〜100Torrのマイクロ波プラズマ及び大気圧付近の熱プラズマが一般的である.0.1Torr以下のいわゆる低圧高密度プラズマを用いたダイヤモンドの合成については,合成手法・条件とも十分確立されていないのが現状である.従って,プロセシングプラズマの一つとして有望な低圧ICPによるダイヤモンドの合成手法を確立し,成長条件の最適化を図ることは,将来のダイヤモンド薄膜の電子デバイス化等の観点からも極めて重要な課題となっている・・・
