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PDF/月刊誌論文/code:pg_0702_16 マテリアル インテグレーション 2007年2月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0702_16 マテリアル インテグレーション 2007年2月号
INTER MATERIAL NIMSナノセラミックスセンター
MIMICプロセスによるセラミックスの微細構造パターニング
■著者
物質・材料研究機構 ナノセラミックスセンター 今須 淳子 他
■要約
近年における電子デバイスのめざましい小型化,集積化に対応するため,セラミックスにおいても様々な微細構造作製技術の開発が進められている.従来からのトップダウンプロセスではレーザー加工が広く研究されており,現在ではエキシマレーザーを利用して10μmオーダーのサイズの加工も可能となっている.
