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PDF/月刊誌論文/code:pg_0703_05 マテリアル インテグレーション 2007年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0703_05 マテリアル インテグレーション 2007年3月号
ELECTRONIC CERAMICS ディスプレイを支えるキーマテリアル
大面積ガラス基板へのITO成膜技術
■著者
(株)アルバック 千葉超材料研究所 磯部 辰徳
■要約
透明電極に要求される特性もパネルの大型化,高精密化とともに,いちだんと厳しくなってきている.ここでは,現在の量産技術として用いられている大面積基板へのITO成膜技術について述べる.
