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PDF/月刊誌論文/code:pg_0703_06 マテリアル インテグレーション 2007年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0703_06 マテリアル インテグレーション 2007年3月号
ELECTRONIC CERAMICS ディスプレイを支えるキーマテリアル
ZnO系透明導電膜
■著者
京都大学国際融合創造センター 藤田 静雄
■要約
本稿では,成膜技術に焦点を置いて,ZnO透明導電膜の現状を概観し,現在主流である真空成膜プロセスとともに,将来的に求められるエネルギー消費の少ない非真空成膜プロセスの一例としてミスト気相成長 (CVD) 法に関して最近の進展を述べる.
