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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_01 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_01 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
INTER MATERIAL プラズマからChemistryを取り出してモノをつくる
高周波熱プラズマを利用した金属間物ナノ粒子合成
■著者
東京工業大学 大学院総合理工学研究科 化学環境学専攻 渡辺 隆行
■要約
本稿では高周波 (RF) 熱プラズマを用いた金属間化合物ナノ粒子の合成プロセスに関して,その研究例およびナノ粒子生成過程を解説する.特に均一核生成と不均一凝縮のモデリングについて言及する.