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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_03 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_03 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
INTER MATERIAL プラズマからChemistryを取り出してモノをつくる
熱プラズマCVD法による窒化物・炭化物・ホウ化物・酸化物の単相膜・複合膜・組成傾斜膜の作製
■著者
北海道大学大学院工学研究科 物質化学専攻 嶋田 志郎
■要約
著者は,アルコキシド溶液を熱プラズマ中へ噴霧する新規コーティング法を開発し,低温(<800℃ )で窒化物・炭化物・ホウ化物・酸化物の単相膜,複合膜,多層膜,組成傾斜膜などを作製している.アルコキシドは種類も多く,比較的安価で取り扱いが容易で,環境にも易しく,塩化物ガスや有機金属化合物ガスを使う他のCVD法より高い優位性がある.さらに,熱プラズマ中に水蒸気を導入して,酸化を制御してTiN膜上に低熱伝導性ジルコニア膜の作製にも成功している.ここでは,アルコキシド溶液からの新規熱プラズマCVD法による窒化物・炭化物・ホウ化物・酸化物の単相膜,複合膜,組成傾斜膜の作製とその特性について概説する.
