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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_07 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_07 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
INTER MATERIAL プラズマからChemistryを取り出してモノをつくる
メゾプラズマによる高品質シリコン膜の低温高速堆積
■著者
東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻 神原 淳 他
■要約
筆者らはこれまでにAr-N2 PMITPにおいてガス流量等の条件を適切に設定すれば基板に供給される窒素原子数を増大させる可能性を見出しており,さらにその高い反応性を保ちつつ熱的なダメージを低減できればPMITPのプラズマプロセスへの応用が大いに期待できる.本研究では上記の理由からこのPMITPの特異な性質を詳細に把握するために実験と数値解析の両面からアプローチを行なっている.
