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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_08 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_08 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
INTER MATERIAL プラズマからChemistryを取り出してモノをつくる
超臨界流体プラズマの生成と材料プロセスへの応用
■著者
東京大学 大学院新領域創成科学研究科 物質系専攻 菊池 宏和 他
■要約
本稿では,先ず2章で超臨界流体プラズマに期待される特性について記述し,3, 4章で超臨界流体プラズマの発生に関する基礎研究から,カーボン/金属ナノマテリアルを主に対象とした材料プロセスまで,本研究グループにおいて行われた研究を基に報告させていただく.