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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_09 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0704_09 マテリアル インテグレーション 2007年4月号
INTER MATERIAL プラズマからChemistryを取り出してモノをつくる
大気圧マイクロプラズマによる酸化物ナノ粒子の合成とマイクロデポジションへの応用
■著者
産業技術総合研究所 界面ナノアーキテクトニクス研究センター 清水 禎樹 他
■要約
本稿で紹介する技術は,金属ワイヤーを原料として利用するマイクロデポジション法である.ノズル内に予め挿入しておいた金属ワイヤーを,マイクロプラズマの「熱」で蒸発または溶融させ,プラズマ中の酸素と「反応」させて酸化物ナノ粒子を合成し,下流で「局所的」にデポジションさせる方法である.マイクロプラズマの有する「非平衡性」が本プロセスで活かされているとは言い難いが,有害な有機金属ガス等を利用することなく,大気中で簡易に酸化物ナノ粒子の合成およびマイクロデポジションをすることが可能であり,微小センサ素子の作製等に有用なプロセス技術である.装置の詳細,マイクロデポジションの実施例,また,酸化モリブデンナノ粒子の合成・デポジションを例に挙げ,本プロセシングのプロセス機構の詳細について紹介する.
