- 商品コード：
-
code:pg_0706_08
PDF/月刊誌論文/code:pg_0706_08 マテリアル インテグレーション 2007年6月号
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2007
PDF/月刊誌論文/code:pg_0706_08 マテリアル インテグレーション 2007年6月号
ELECTRONIC CERAMICS Low Temperature Cofired Ceramics ; LTCC
フォトレジストフィルムを用いたLTCCのファインパターニングおよびスルーホールの新たな形成方法
■著者
日本大学理工学部 内木場 文男
■要約
LTCCの製造工程において,導体パターンの形成とスルーホールの形成は技術的に重要な工程であり,また,大型装置が必要なためコストのかかる部分となっている.既存技術においてはそれぞれスクリーン印刷とレーザパンチングが用いられるが一層の微細化を検討する段階になって,難点が浮き彫りになってきた.本稿においては,これらの既存技術について検討を加えた後にフォトレジストフィルムを用いた新たな導体パターン形成方法とスルーホール形成方法について説明を行う.
