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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_03 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0707_03 マテリアル インテグレーション 2007年7月号
MATERIALS INTEGRATION エンジニアの源流---時代と世界の先端を走る(セラミックス革命)
プロセッシングを通してみるセラミックス:塊から薄膜まで
■著者
東京工業大学大学院理工学研究科材料工学専攻 篠崎 和夫
■要約
本稿では,典型的な2つのタイプのセラミックスである塊状のセラミックス(バルクセラミックス)と薄い膜状のセラミックス(薄膜セラミックス)について,プロセッシングがどのように活躍しているかを紹介しましょう.