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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_05 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_05 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
層状有機無機ハイブリッド材料を用いたVOCセンサ
■著者
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 伊藤 敏雄 他
■要約
有機/MoO3ハイブリッドによる揮発性有機化合物(VOC)センサは,ガスセンサとして必要な信号変換機能と分子認識機能を,それぞれMoO3とその層間の有機化合物に分担させることで,高い選択性と感度を有する新しいセンサ材料群です.その中でも,有機/MoO3ハイブリッドは,特にアルデヒド系のガスに対して選択的に応答することを見いだしております.本文では,有機/MoO3ハイブリッド薄膜の作製法,ガスセンサとしての高感度化の手法,ガス種選択性のメカニズムを中心に紹介します.
