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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_07 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_07 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
半導体式ガスセンサの信頼性の向上
■著者
新コスモス電機(株) 皆越 知世 他
■要約
ガス漏れ警報器にとって漏えいガスを確実に検知し,それを知らせることは最も重要な性能ですが,同時に、漏えい以外での警報(誤報)が無いことも同じように重要な性能です.我々は,金属酸化物半導体式センサのガス選択性を長期間にわたって維持させるために,高い性能と耐久性を有した材料の検討を行っています.本報では,我々の取り組みについて紹介します.
