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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_16 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_16 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
マイクロガスセンサ素子上への燃焼触媒集積化
■著者
独立行政法人 産業技術総合研究所 西堀 麻衣子 他
■要約
マイクロ熱電デバイス上にセラミックス触媒パターンを集積化したマイクロ熱電式ガスセンサは,可燃性ガスを触媒燃焼させその発熱を利用してガスを検知する.本稿では、デバイス上への触媒集積化技術とともに,デバイスの耐久性やガスセンサ応用に向けた選択性の向上に関する開発について紹介する.
