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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_18 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_18 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
陽極酸化薄膜を用いたガスセンサ
■著者
長崎大学工学部 教授 清水 康博 他
■要約
本稿では,ガスセンサの分野では特殊な製膜法に分類される金属板の陽極酸化膜を用いたガスセンサの作製法とそのガス応答特性について紹介する.
