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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_19 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0805_19 マテリアル インテグレーション 2008年5月号
MATERIALS INTEGRATION 化学センサの新展開(第1章/ガスセンサ・第2章/バイオセンサ・イオンセンサ)
ガスセンサのマイクロ化・集積化
■著者
東京電機大学 工学部 電気電子工学科 教授 原 和裕
■要約
ガスセンサのマイクロ化とは,ガスセンサをμmのスケールで測られるサイズに微細化することです.また,ガスセンサの集積化とは,複数のガスセンサ,あるいは,他の種類のセンサや電子回路とを,単一のデバイスとして統合することです.両者とも,半導体集積回路 (IC) の製造で培われた技術を応用することにより,小型・軽量化,量産化,他の電子部品や回路との一体化による機能向上等の数多くのメリットが期待できます.しかし,実際にこれを進めようとすると,多くの困難に突き当たります.本節では,そのメリットのみならず,解決すべき課題を述べます.
